Espectrometria de massa de ionização ressonante (aros) é uma técnica analítica emergente que pode realizar muito sensível e inequívoca identificação de impurezas elementares em materiais a granel, em superfícies e de partículas. Porque a técnica combina a alta sensibilidade e seletividade, a concentração de vários contaminantes pode ser determinado no e abaixo do nível de parte por bilhão (ppb). Além disso, tais determinações podem ser quantitativas mesmo em matrizes complexas, e foram obtidos os mapas de concentração em alta resolução lateral.